无线振动记录器-VSSⅡ

VSSⅡ功能
VSSⅡ可以量测三轴振动、精准的倾角、温度与湿度。外型轻薄，厚度仅4mm，提供两种尺寸(8英寸与12英寸)选择。
我需要VSSⅡ吗?
担心设备运作时异常抖动，导致材料损坏、制程发生问题? 又或是不确定设备该保养了吗? 维修后的设备是否达到原有的精度水平?
让VSSⅡ来协助有上述困扰的您吧! 它可以量测机械手臂传送晶圆时的振动，高速且完整记录运作过程的振动。平时使用VSSⅡ检测可以知道运作是否异常，需不需要保养；维修后检测则能确认运作是否达到以往水平。
想要确保设备运作顺畅，避免制程发生问题与材料耗损，就让VSSⅡ来替你把关。
VSSⅡ系统特色
• 无线量测技术，连续记录可达4小时。
• 内建传感器，可量测三轴振动、倾角、温度、湿度。
• 量测软件可做频谱、角度、趋势分析。
• 应用范围：自动仓储、AGV无人搬运车、Wafer robot晶圆机械手臂、FOUP、OHT、Wafer stocker等振动与倾角检测。