VSSⅡ功能
VSSⅡ可以量测三轴振动、精准的倾角、温度与湿度。外型轻薄，厚度仅4mm，提供两种尺寸(8英寸与12英寸)选择。
我需要VSSⅡ吗?
担心设备运作时异常抖动，导致材料损坏、制程发生问题? 又或是不确定设备该保养了吗? 维修后的设备是否达到原有的精度水平?
让VSSⅡ来协助有上述困扰的您吧! 它可以量测机械手臂传送晶圆时的振动，高速且完整记录运作过程的振动。平时使用VSSⅡ检测可以知道运作是否异常，需不需要保养；维修后检测则能确认运作是否达到以往水平。
想要确保设备运作顺畅，避免制程发生问题与材料耗损，就让VSSⅡ来替你把关。
VSSⅡ系统特色
• 无线量测技术，连续记录可达4小时。
• 内建传感器，可量测三轴振动、倾角、温度、湿度。
• 量测软件可做频谱、角度、趋势分析。
• 应用范围：自动仓储、AGV无人搬运车、Wafer robot晶圆机械手臂、FOUP、OHT、Wafer stocker等振动与倾角检测。

Sculptor是美国Optimal Solutions公司基于长年的CAE/CFD方面的研究和工作经验，针对传统仿真和设计优化的局限，研发的致力于解决自动化网格变形的应用软件。OS公司集中了CAE/CFD外形优化行业内的一批顶尖技术精英，自1990年开始，花费了大量的精力， 开创了独有的任意形状变形技术（Arbitrary Shape Deformation），能够快速、高效地为用户解决工程设计中涉及网格形状变化的各种难题。它支持各种主流CAE软件的网格文件，如Fluent、CFX、Star-CD、Star-CCM+、Plot3d、Polyflow、ANSYS、Abaqus、Nastran等，能按照工程师的要求，对网格进行变形操作，并能够实时地观察变形的效果。